高純度氣體分析氦離子化氣相色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。
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GC-9280型高純度氣體分析氦離子化氣相色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,儀器配備高靈敏度的氦離子化(PDHID)檢測器,采用中心切割與反吹技術(shù),配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器,通過無死體積取樣或在線進(jìn)樣方式,一次性完成上述高純氣體中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測,檢測限達(dá)ppb級,重復(fù)性RSD≤1%。
適用標(biāo)準(zhǔn):
GB/T8979-2008《純氮、高純氮和超高氮>
GB/T14599-2008《純氧、高純氧和超純氧>
GB/T4844-2011《純氨、高純氨和超純氨》
GB/T4842-2006《氬》
GB/T3634.2-2011《氫氣第2部分純:純氫、高純氫和超純氫》
GB/T17873-2014《純氖和高純氖》
GB/T5829-2006《氪氣》
GB/T5828-2006《氙氣》
HG/T3633-1999《純甲烷》
GB/T23939-2009《高純二氧化碳》
GB/T16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》
GB/T16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》
GB/T16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》
GB/T16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》
GB/T14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮>
GB/T14601-2009《電子工業(yè)用氣體 高純氨》
GB/T14602-2014《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》
GB/T14603-2009《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》
GB/T18994-2014《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T14851-2009《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》
GB/T17874-2010《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》
GB/T15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》
氦離子化氣相色譜儀技術(shù)參數(shù):
氨離子化檢測器(PDHI)參數(shù):
放電模式:脈沖放電
基線噪聲:≤0.1mv
基線漂移:50.2mv/30min
-12檢測限:S1.0X10g/ml
線性度<士0.1%
載氣純化器:
可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn最大操作壓力:1000Psi去除氣體:H2、02、N2、CO、CO2CH4、H20、NO、NH3、CF4等殘留濃度:≤10ppb
重現(xiàn)性0.06%
氦離子化氣相色譜儀檢測限:
檢測限(ppb):
一般雜質(zhì) |
||||||
雜貨種類 |
H2 |
O2(Ar) |
N2 |
CH4 |
CO |
CO2 |
檢測限 |
5 |
10 |
10 |
5 |
25 |
5 |
碳?xì)浠衔?/p> |
|||||||
雜質(zhì)種類 |
C2H4 |
C2H6 |
C3H6 |
C3H8 |
C4H8 |
C4H10 |
iC4H10 |
檢測限 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
電源:220V±22V,50Hz,功率≥2kW
重量:~48kg
尺寸:寬655mm×高500mm×深480mm
6、其他參數(shù):尺寸、重量、電源:
重現(xiàn)性:0.06%。
線性度:<±0.1%。
積分靈敏度:1μv•sec
動態(tài)范圍:106
采樣頻率:zui高20次/秒
輸入電平范圍:-5mv至+1v
分辨率:±1uv
高精度:24位的高精度A/D
通訊接口:RS232/USB接口
5、工作站性能:
殘留濃度:≤10ppb
去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
zui大操作壓力:1000Psi
可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
4、載氣純化器:
檢測限:≤1.0×10-10g/ml
基線漂移:≤0.5mv/30min
基線噪聲:≤0.1mv
放電模式:脈沖放電
3、氦離子化檢測器(PDD):
降溫速度:7分鐘以內(nèi)(350℃到50℃)
升溫速率:1℃~40℃
程序升溫:八階
溫控數(shù)量:八路
檢測器:室溫上8℃-400℃ 精度±0.1℃
進(jìn)樣器:室溫上8℃-400℃ 精度±0.1℃
柱 箱:室溫上8℃-400℃ 精度±0.1℃
2、溫控指標(biāo):
三、系統(tǒng)配置:
(1)GC-9280型氣相色譜儀
(2)氦離子化檢測器(PDHID)
(3)中心切割系統(tǒng)
(4)多柱箱系統(tǒng)
(5)氦氣純化器
(6)標(biāo)準(zhǔn)氣體
(7)色譜柱
(8)氧吸附與還原系統(tǒng)
(9)載氣專用減壓閥
(10)無死體積專用取樣閥
(11)專用數(shù)據(jù)工作站
四、分析譜圖:
1、高純氫氣的分析
2、高純氧氣的分析
3、高純氬氣的分析
4、高純氦氣的分析